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半自动探针台(国产)

品牌:

国产

特点:

•高精度XY平台 :XY轴行程≥340mm、定位精度≤±1um/300mm、重复定位精度≤±1um、位移分辨率≤0.1um
•高刚性测试平台:Z 轴升降行程≥36mm、Z轴定位精度≤±2um、Z轴重复定位精度≤±1um、旋转角度≤±5°、旋转角度精度≤±0.001°、旋转角度分辨率≤0.00015°
•CHUCK(常温/常高温/三温)功能, 吸附方式:环槽/密孔、平面度:常温≤10um/200℃≤20um、温度范围: -55~200℃、温度均匀性: ±0.5℃(<100℃) /±5%(>100℃)、升降温速 度: ≤30min(25→200℃) /≤60min(200→25℃)/
•高效晶圆传输系统 :搬运过程不造成晶圆损伤及污染、晶圆输送CT≤5
•自动对准定位技术 、 自动对针技术 、 精度补偿算法

产品负责人:

Martin

产品详情

产品简介

P300-Siph半自动常高温(可拓展成高低温)探针台是在25-200℃环境下通过探针、射频仪器、光耦合等方式测样品pad电极,通过连接测试仪器加载和测量光/电学信号,并在软件端对光电学信号进行控制、判断与存储,对次品芯片(die)进行标记,其中,标记方式可根据客户要求设定。在一个芯片(die)测试完成后,通过软件控制系统将chuck机械平台移动至下一个待测芯片(die),依次进行循环测试。

优势

高可靠机械结构设计、优质组件及先进装配工艺,使系统运行参数达到行业较高水平,实现了高解析度、高精度、快速并具有优异的测试重复性和稳定性,可确保测试结果的准确、快速、可靠,且价格合理,极大提高受测产品的工艺水平和良品率。P300-Siph可升级为全自动设备,拓展成三温卡盘,可匹配多种测试应用环境。

设备形态及尺寸


功能模块


软件功能


技术参数

卡盘运动模块


显微镜模块


卡盘温控系统


设备使用条件



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